带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计

作者：伍康; 叶雄英; 陈烽; 刘力涛; 周兆英

来源：纳米技术与精密工程, 2011, (01): 21-25.

• 微加速度计
• 光栅
• 干涉
• 力反馈
• 三明治 micro accelerometer
• grating
• interferometric
• force feedback
• sandwich

设计了一种静电力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计,加速度计由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动电路和反馈控制电路组成.敏感芯片为玻璃-硅-玻璃3层结构,通过硅-玻璃键合体硅工艺制成.硅质量块由铝梁支撑,底部玻璃基片上有金属光栅和电极,通过在质量块和底部玻璃基片上的电极之间施加电压可以调节质量块与玻璃基片间的间隙.入射激光照射到敏感芯片上的光栅上,产生衍射光束,其光强随质量块与下玻璃的间距而变化.反馈控制电路通过测量衍射光强的变化来改变质量块与底电极之间的电压,使得质量块与底部玻璃基片的距离保持为入射光波长1/8的奇数倍,从而提高输出线性度,改善灵敏度,增大量程.

• 出版日期2011
• 单位清华大学