摘要

合成了氨基吡啶铈(Ⅲ)配合物并通过核磁和元素分析对其进行了表征;通过热重分析(TGA)对其热稳定性,挥发性和蒸汽压等热性质进行了研究,以期适用于化学气相沉积(CVD)技术的应用。最后,通过热型CVD技术制备出了Ce O2薄膜,表明氨基吡啶铈(Ⅲ)配合物可以作为一种新型的CVD前驱体。

  • 出版日期2018
  • 单位江南大学; 化学与材料工程学院