摘要

介绍了超声波电动机的优势及特殊的应用背景,指出多自由度是该领域的研究热点。介绍了多种结构类型的多自由度球形超声波电动机及其特点,针对球形电机高精度控制的要求,综述了电机姿态检测和运动控制的研究现状,对比分析了不同测控方法的优点与不足,并指出下一步研究及应用的方向。