桶状单晶片敏感元件的振动分析

作者：董天晓; 李莉; 王丽坤; 秦雷; 吴炜伟

来源：压电与声光, 2009, (05): 724-727.

• 敏感元件
• 有限元分析
• 模态响应 sensing element
• the finite analyse
• mode response

桶状单晶片敏感元件由压电陶瓷(PZT-5)薄圆片粘贴在圆筒状金属外壳底部构成。运用有限元法,采用简化的模型对敏感元件进行振动模态仿真,分析了其结构尺寸与振动频率的关系,探讨了影响传感器工作频率的关键因素,优化了元件结构;对敏感元件实体进行实验测试,其1阶振动频率与仿真结果吻合较好。

• 出版日期2009
• 单位北京信息科技大学