一种退火掺杂实现常关型HEMT器件的方法|科研之友

摘要

本发明公开了一种退火掺杂实现常关型HEMT器件的方法。该方法为：在真空气氛下，采用激光扫描镁栅条，通过激光实现镁栅条在AlGaN材料中的热掺杂，实现常关型HEMT器件性能；本发明所实现的掺杂时间短，掺杂浓度及深度间接可控，而且对沟道二维电子气的影响小。本发明是一种快速的掺杂来实现常关型HEMT器件的方法，对于实现高性能的常关型HEMT器件有重要意义。

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