MEMS技术及应用的新进展

作者：黄新波; 贾建援; 王卫东

来源：机械科学与技术, 2003, 21-24.

• MEMS
• 设计
• 材料
• 加工
• 封装
• 测试

MEMS是微电子和微机械的集成体 ,目前制备 MEMS的材料和工艺等得到很大发展 ,但其研究理论尚不成熟。本文综述了当前制备 MEMS的几个重要步骤 (即设计、材料选择、加工、封装以及测试 )的发展水平和存在问题 ;并总结了 MEMS应用的最新进展和未来前景

• 出版日期2003-12-30
• 单位西安电子科技大学